1、半导体工业中MOCVD技术
2、特种灯(HID)开发与生产
3、微电子、激光及等离子焊
4、OLED/PLED开发与生产
5、锂离子电池开发与生产
6、无机/有机化学研究
7、金属卤化物/金属粉末/陶瓷粉末研究
8、纳米材料研究
9、催化剂研究
10、YAG激光焊接
1、检查氮气瓶里是否有氮气,氮气要及时更换,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查厌氧手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露点是否正常(氧为0.1ppm以下,露点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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